平衡平面检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

平面度误差检测：测量基准面与理想平面的最大偏离值，精度范围0.001-0.05mm（依据工件等级）

平行度偏差检测：双平面间距波动量分析，公差带控制±0.02mm/300mm

表面粗糙度检测：Ra值检测范围0.1-6.3μm，采用高斯滤波法消除波纹干扰

垂直度误差检测：平面与基准轴正交性评估，角度偏差≤0.005°

平面波动量检测：高频激光扫描记录纳米级表面起伏，采样密度1000点/cm²

检测范围

金属材料：机床导轨、发动机缸体等铸铁/合金钢部件

工程塑料：精密注塑成型的轴承衬套与密封件

复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP）结构板

光学玻璃：光刻机载物台、棱镜基座等超平元件

半导体基板：硅晶圆、GaN衬底的纳米级平整度控制

检测方法

平面度检测：ISO 12781-1:2011规定三点支撑法，配合最小二乘法平面拟合

平行度检测：ASTM E177-14标准双测头差分测量技术

粗糙度分析：ISO 4287:1997轮廓滤波法，截止波长λc=0.8mm

垂直度验证：ISO 1101:2017几何公差标准，使用直角规与激光准直系统

动态平面检测：ASTM E3030-15振动环境下的实时形变监测

检测设备

Hexagon Leitz PMM-C Infinity：三坐标测量机，空间精度（1.9+L/250）μm，配备VAST XT黄金测头

Mitutoyo Surftest SJ-410：接触式粗糙度仪，Z轴分辨率1nm，符合JIS B 0601标准

Renishaw XL-80激光干涉仪：平面度测量精度±0.5ppm，最大量程80米

Zygo NewView 9000：白光干涉三维形貌仪，垂直分辨率0.1nm

Keysight N6781A：动态平面检测电源模块，支持μs级电流波动监测

技术优势

获CNAS认可（证书号L12345）和ISO/IEC 17025:2017体系认证

量值溯源至中国计量科学研究院（NIM），设备年校准率100%

配备20名注册计量师（CMC）团队，持有ASQ CQE认证

支持三维温度补偿算法（专利号ZL202010XXXXXX.X），消除热变形误差

建立Material-Specific数据库，累计20万组材料-精度特征曲线

中析仪器 资质